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上述两类传感器工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电上时,电容会有增加,检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为5微米,电容像素阵列的分辨率略高于5dpi。这类传感器基于一种的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用.5微米工艺进行设计。金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅,厚度仅为7埃米。这种硬金属电与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用,使用寿命可以达到很多年。