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为了增加膜层工件表面的结合强度，现在发展了多种增强型CVPVD技术。硬化膜沉积技术早在工具（刀具、刃具、量具等）上应用，效果，多种刀具已将涂覆硬化膜作为工艺。模具自上个世纪8年代开始采用涂覆硬化膜技术。目前的技术条件下，硬化膜沉积技术（主要是设备）的成本较高，仍然只在一些精密、长寿命模具上应用，如果采用建立热处理的方式，则涂覆硬化膜的成本会大大降低，更多的模具如果采用这一技术，可以整体提高我国的模具制造水平。